产品详情
VTC-2DC2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。
VTC-2DC2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪
产品概述:
VTC-2DC2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。
主要参数:
溅射腔体:
溅射头&样品台:
真空系统:
进气:
靶材:
薄膜测厚仪(可选):可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
产品外形尺寸:
540mm L x540 mm W x1100mm H
净重:70 kg(不包括泵)
质量认证:CE认证
警告:
溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶
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