CGM-3F-PTFE混气系统3路浮子

产品概述：

CGM-3F-PTFE混气系统3路浮子可与管式炉一起放入小烟囱中，更安全。所有被气体润湿的部件都是由PTFE（例如阀、管、混合罐和流量计）制成。用于输送腐蚀性气体，如硫化氢（H2S）和硒化氢（H2Se），用于CVD处理。

浮动仪表：

• 三台聚四氟乙烯材质防腐浮子流量计，流量100-1000ml/min（0.1-1.0l/min）
• 一个机械压力表（混合罐）：0～0.05 MPa，（0.02 MPa/砂砾）

阀门：三个由聚四氟乙烯材料制成的针阀，用于控制前面板上的气体出口

储气罐：

• 500毫升聚四氟乙烯气罐
• 内置的气体混合罐将来自三个入口通道的气体混合并混合。

管件：

• 由聚四氟乙烯制成的管件，可接受1/4“管道（尼龙或不锈钢）
• 三个气体入口，每个通道有一个独立的气体流量计。
• 包括20'长1/4“PTFE管，可立即使用

尺寸：

• 紧凑型尺寸：340Lx300DX180H，mm（13.4“x12”x7“）。
• 净重：16磅

航运：

• 装运尺寸：待定
• 装运重量：50磅

氧气检测：氧传感器可用于监测用于防止或减少氧化的CVD系统中的气体（ES）的氧含量。

注：

• 如果您的CVD处理涉及腐蚀性气体，如H2S，请考虑在您的管式炉上使用聚四氟乙烯法兰
• 另外，请选择耐腐蚀的干式真空泵，而不是油真空泵