产品详情
CGM-2F混气系统2路浮子是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。
CGM-2F混气系统2路浮子
产品概述:
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。
浮子流量计:两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min
混气罐:内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气
机械压力表(混气罐):-0.1-0.15 MPa
关键和阀门:
·采用ss304不锈钢
·三管件接口直径为1/4”(接管可选聚四氟或不锈钢)
外形尺寸:340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
可选:
·CVD或者PECVD
·液相气体发生器
·1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F
·Plasma等离子清洗
净重:约10 Kg
CGM-2F混气系统2路浮子
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