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的JSM-7610F的光学系统经过改进,实现了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。
此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下:
◇ 半浸没式物镜
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场,因而可以获得超高分辨率。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是的电子光学系统,既实现了高倍率观察又能进行多种分析。
浸没式肖特基场发射电子枪,可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪(FEG)的探针电流,光阑角控制镜(ALC)在探针电流增大时也能保持小束斑,两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统,从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。
浸没式肖特基场发射电子枪銃
浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合,可以有效地收集从电子枪内发射的电子。
光阑角控制镜(ACL)
光阑角控制镜(ACL)配置在物镜的上方,在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此,即使照射样品的探针电流很大,与传统方式相比,也能获得很小的电子束斑。
即使探针电流很大,束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高
◇ 柔和电子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式
GB 模式的效果
GB 模式在低电压下提高分辨率
左图一般模式,右图GB模式
增强了的低加速电压下的分辨率
◇ r-过滤器
◇ LABE检测器(选配件)
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像
◇ 扩展性
能谱仪(EDS)
波谱仪(WDS)
阴极荧光系统(CL)
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