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产品详情
| 生产速度 | 一炉25 分钟可放256 制具 约 2265088 PCS〈0603〉/40 min 〈cycle〉 | |
| 换料方式 | 制具转盘整组更换 | |
| 高真空帮浦 | 高真空冷冻帮浦10 inch | |
| 粗真空帮浦 | 机械帮浦，抽气速率：1000L/min | |
| 真空工作室 | 不锈钢，附循环冷却水管路 | |
| 溅射靶源 | 5×22 inch 磁场环绕平面阴极×3 | |
| 真空计量 | 低真空计TC gauge 1.0E3～1.0E-3 Torr 高真空计Ion gauge 1.0E-3～ 1.0E-5 Torr | |
| 溅射电源 | 10kw 直流电浆电源供应器×3 | |
| 制程控制 | 触控屏幕操作之 全自动控制/手动 控制单元 | |
| 制程气体 | 氩气0～200sccm | |
| 工作压力 | 1.5E-1～1.0E-5 Torr |
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