产品详情
专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。
最近,该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪,进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时,该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置,可以以后加配球差校正进行升级。
项目 | 描述 | ||
---|---|---|---|
图像分辨率 | w/o球差校正仪 | 保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时) | |
w球差校正仪 | 保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头) | ||
保证 0.136 nm(HAADF图像) 保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*) | |||
放大倍数 | 100倍 至 10,000,000倍 | ||
加速电压 | 200 kV, 120 kV * | ||
成像信号 | 明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像) 暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像) 二次电子图像(SE图像) 电子衍射* 特征X射线分析和面分布(能谱分析)* 电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)* | ||
电子光学系统 | 电子源 | 肖特基发射电子源 | |
冷场致发射器* | |||
照明透镜系统 | 2-段聚光镜镜头 | ||
球差校正仪* | 六极镜头设计 | ||
扫描线圈 | 2-段式电磁感应线圈 | ||
原子序数衬度收集角控制 | 投影镜设计 | ||
电磁图像位移 | ±1 µm | ||
试片镜台 | 样品移动 | X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm | |
样品倾斜 | 单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*) | ||
真空系统 | 3个离子泵,1个TMP | ||
极限真空 | 10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室) | ||
图像显示 | 个人电脑/操作系统 | PC/AT兼容, Windows® XP | |
监视器 | 19-inch液晶显示器面板 | ||
图像帧尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 | ||
扫描速度 | 快扫,慢扫(0.5至320秒/帧) | ||
自动数据显示 | 记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间 |
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