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扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II

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“的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

特点
规格
观察示例
视频
三维测量软件

特点

FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。

尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型^*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率
凭借的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD^*2），可在低加速/低真空下观察时实现的画质
全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持观察时的视野搜索和样品定位
大直径（30毫米²）无氮EDS检测器，可快速进行元素分析^*2

*1: 设置到桌面上时，请将机体与电源盒分离
*2: 选项

小型高性能色谱柱

尺寸虽小，却具备同类产品中的分辨率。

金颗粒沉积（SE）
金颗粒沉积
加速电压：20 kV
倍率：60,000倍
信号：SE
分辨率：4 nm

金颗粒沉积（BSE）
金颗粒沉积
加速电压：20 kV
倍率：50,000倍
信号：BSE
分辨率：5 nm

高画质

配备可优化放射电流的功能，以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，而获得噪点小且清晰的图像。

储氢合金（SE）
储氢合金
加速电压：5 kV
倍率：30,000倍
信号：SE、无金属涂层

Al-Ni复合材料（BSE）
Al-Ni复合材料
加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：BSE、无金属涂层

可用高画质和快速观察

搭载GUI和自动调节功能，让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦（AFC）、自动亮度调节（ABCC）按钮，就可以获得的图像。（自动调节：与以往相比，缩短时间约13秒^*3）当然，也可以通过触屏进行操作。

*3: 对比日立SEM SU1510

全新定位系统“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像，定位样品，一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴，并以分布图的形式显示。

可放置在桌面上的紧凑型电子显微镜

宽幅仅为45厘米，紧凑型设计，地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外，机体和电源盒可以分离，从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。

FlexSEM 1000 II

规格

项目	内容
分辨率^*3	4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）
加速电压	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率）
低真空设置	6～100 Pa
电子枪	集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
样品台	3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可观察范围：直径64mm（R联用）^*4
样品尺寸	直径80 mm（选配：直径153mm）
样品高度	40 mm
尺寸	机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm
选项	高敏感度低真空检测器（UVD2.0）能量色散型X射线检测器（EDS）
软件	Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）

*: PC、桌子、监控器由客户准备
*3: 机体和电源盒连接时候
*4: 使用标准支架时

观察示例

半导体
材料
生物

半导体

焊线

加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层

加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信号：BSE、无金属涂层

材料

二硫化钨

FlexSEM 1000 II采用新型偏压系统，可在低加速电压下获得高放射电流。从而，在低加速电压下也能实现同类产品中的图像清晰度（S/N）。

加速电压：15 kV
倍率：10,000倍
信号：SE、无金属涂层

加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：SE、无金属涂层

水泥

加速电压：3 kV
倍率：15,000倍
信号：SE、无金属涂层

黄铜矿

加速电压：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层

生物

蝴蝶翅膀断面

加速电压：15 kV
加速电压：5 kV
倍率：40,000倍
信号：SE、有金属涂层

花粉

加速电压：3 kV
加速电压：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信号：UVD、无金属涂层

视频

宽度仅为45厘米的紧凑型电子显微镜，仍具备4.0 nm的图像分辨率！

全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能

三维测量软件

Hitachi map 3D（选项）

利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号，可计算4个方向的表面形状，从而无需进行样品倾斜和视野对位，即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言，具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。

详情请浏览“日立领域”页面。