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集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
■样品台可搭载超大/超重样品
■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
■各种自动化功能
■Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察
■Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告
■可满足多种观察需求的探测器
■配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件
>■SEM/EDS一体化功能*
■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
■支持图像测量软件Image pro
*配件
*配件
搭载了简约UI,简单操作,如同触屏般直观。
Multi Zigzag可以自动获取连续的视野。可以在不同的视野中拍摄多张高倍率图像,并使用Viewer功能拼接拍摄的图像,创建大视野图像。
*配件
通过采用4分割+1单元的设计,对每个单元进行计算,无需倾斜样品,即可获得成分图像、3D图像以及4方向凹凸图像。由于探测器的设计十分精巧,且灵敏度高,实现了高分辨率和高信噪比。
SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
SU3800/SU3900全新研发的SEM/EDS一体化功能,通过SEM操作界面即可完成测试位置确定、条件设置、样品分析以及生成报告等一系列操作。通过SEM的全面控制,可以提高测试效率,减轻了操作人员的负担。
Hitachi Map 3D可对SU3800/SU3900的5分割背散射电子探测器当中的4个不同方向的SEM信号进行演算分析,生成三维图像。支持2点间高度、体积和简易表面粗糙度(面粗糙度、线粗糙度)测量。可一次性接收四个不同方向的信号,因此,无需倾斜样品台或合成图像。
SU3800 / SU3900搭载了IPI,可以将SEM图像传输到由美国Media Cybernetics公司开发的图像处理软件Image Pro。只需单击一下,即可将数据从SEM传输到图像测量软件。
显示了锆石晶体在相同视野下的观察结果。在BSE图像中很难看清铬浓度的缓和偏差。但是,在CL图像中可以确认到暗 色区域是对应于错浓度较高的区域。
ITEM | SU3800 | SU3900 | |
---|---|---|---|
二级电子分解能 | 3.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射电子分解能 | 4.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(实际显示倍率*2) | |||
加速电压 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度设定 | 6~650 Pa | ||
图像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
样品台 | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°连续 | ||
T | -20°~+90° | ||
可观察范围 | 130mm直径(R并用) | 200mm直径(R并用) | |
可观察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自动光轴调整(实时级别对齐) | |||
自动调整光束亮度 | |||
自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制(ABCC) | ||
自动对焦控制(AFC) | |||
自动标记和焦点功能(ASF) | |||
自动灯丝饱和度调整(AFS) | |||
自动光束对准(ABA) | |||
自动启动(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM MAP)、光束标记功能 | ||
配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部装置) | 能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、 各种外部功能台(加热台、冷却台、牵引台) |
* 1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的显示尺寸。
* 2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的显示尺寸。
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