产品详情
PI真空烘箱,真空无氧PI烤箱的用途:
PI真空烘箱用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。
在真空下操作可降低空间的湿分蒸汽分压而加速干燥过程,且可降低湿分沸点和物料干燥温度,蒸汽不易外泄,所以,真空高温无氧烘箱也适用于干燥热敏性、易氧化、易爆和有毒物料以及湿分蒸汽需要回收的场合。
PI真空烘箱,真空无氧PI烤箱技术性能:
温度范围:室温+50~400/500℃
温度调节精度:±1.0℃
升温速率:1~8℃/m,可调
降温时间:350-90℃≤90min
氧浓度:≤10ppm
氧浓度到达时间:≤ 25分
内装:316L不锈钢板
外装:冷轧钢板,表面耐药品性涂装
断热材:陶瓷纤维
冷却机构:水冷+风冷
温度控制方式:PID控制
操作界面:液晶触摸屏+PLC
运行功能:手动定值运行、自动程序运行
程序模式:程序运行10个,每个程序可设置25步
真空无氧PI烤箱特点
全自动真空固化,一键运行,无需人工值守
10PPM低氧气水平,在低气压下实现真空固化。
腔体内气流设计,改善了腔内洁净度,节约大量N₂消耗量。
温度控制均匀度为高,提高晶圆温度均匀性。
快速的加热和冷却性能,可减少工艺等待时间。
内腔所以材料均为316L不锈钢
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