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半导体装备高精度表面测温控温组件
温度控制广泛应用于社会生活的各个领域,如家电、汽车、材料、电力电子等
温度控制的精度以及不同控制对象的控制方法选择都起着至关重要的作用,温度是锅炉生产质量的重要指标之一,也是保证锅炉设备安全的重要参数。同时温度是影响锅炉传热过程和设备效率的主要因素。基于此,运用反馈控制理论对锅炉进行温度控制,满足了工业生产的需求,提高了生产力。
合肥智测电子温度采集器、温度采集模块等高精度测温产品系列,用于收集工艺设备反应室的温度数据,该采集器可采集、储存、分析以及显示温度信息,提供温度图表等,帮助用户提升芯片厂的生产效率和芯片产出良率。
温度变送器、传感器、测温模块实验室、车间工程使用
环境洁净工程(精密光学仪器使用环境工程、半导体制造环境工程等)
电子工业工程(精密电子无尘室、精密机械无尘室、注塑涂装无尘室、激光彩印无尘室)医药工业工程(GMP无尘无菌室、诊断试剂无尘无菌室)
+高精度测温模块温度变送器 温度传感器 温湿度测量监测记录
等离子刻蚀机多温区监控、多区温度检测 Shower Head温度监控真空腔体温度监控单晶硅温度监控 RFheater温度监控刻蚀机台温度监测真空环境测温
目前我司已经建成软件、硬件研发实验室,温度传感器组装和测试生产线,拥有完善的高精度温度校准能力。我们的产品被国内头部集成电路设备和制造企业采用,具有较强的定制开发能力
半导体装备高精度表面测温控温组件
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