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等离子刻蚀机多温区监控 湿度测量监测记录
温度对大多数材料的影响是蚀刻速率的增加，虽然看起来选择性会随着温度的升高而保持不变，但并不是所有材料的蚀刻速率都会以相同的比例增加，一个例子是InP:在较低温度下，InP的蚀刻速率相对较慢，与氧化硅相当，但是在高温下蚀刻速率远远超过电介质掩模的蚀刻速率，另一个例子是用氧化硅掩模蚀刻硅，在这种情况下，选择性随着温度的升高而降低。
衬底温度与所谓的“热预算”相关，热预算指的是样品在加工过程中可以承受的高温，例如，如果温度过高，一些需要蚀刻的磁性材料可能会失去一些**的性能，光致抗蚀剂或临时晶片结合材料可能会限制处理温度。每个应用都有特定的温度要求，选择能够在您的温度范围内准确提供结果的设备是一个至关重要的考虑因素。
合肥智测电子目前已经建成软件、硬件研发实验室，温度传感器组装和测试生产线，拥有完善的高精度温度校准能力。
我们的产品被国内头部集成电路设备和制造企业采用，具有较强的定制开发能力！！！
我们的高精度温度传感器变送器等应用于
半导体制造装备测温
真空环境测温
生物医疗过程测温
环境洁净工程(精密光学仪器使用环境工程、半导体制造环境工程等)
电子工业工程(精密电子无尘室、精密机械无尘室、注塑涂装无尘室、激光彩印无尘室)
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