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超精密气浮转台
气浮转台的结构经过特别优化，具有大的空气承载表面，提供*的刚度和负载能力，不仅具有极小的轴向和径向运动误差，还有小化的角摆误差。平台表面的综合运动误差明显优于其他结构类型的旋转平台。气浮转台由无齿槽无刷力矩电机直接驱动，刚性耦合，没有柔性环节，没有齿槽力矩引起的力矩波动，具有*的带宽和超平滑的速度轨迹，特别适用于对低速稳定性要求*的应用。转台的反馈系统由高精度圆光栅构成，通过电子细分技术，能够实现0.007角秒（arc sec）的机械分辨率（Minimum incremental step）和0.12角秒的定位精度（Accuracy，follow ISO230-2）。
超精密气浮转台参数
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