供应等离子体去胶机ME1

ME1型等离子体去胶机，是在（RIE）反应离子刻蚀机的基础上简化改进而来，为小型等离子去胶机，具有体积小，性能优良、用途多、工艺速率高、均匀性及重复性好、价格低、使用方便等特点。是各电子器件企业及科研单位、大专院校的首xuan机型。适合于微电子制作工艺中光刻胶的去胶工艺，同时有RIE刻蚀功能，可以刻蚀Si、SiO2、SiN。已出口国外。
　　整机基本配置和性能：
　　　　1．激励电源：13.56MHz 500W；带匹配器和功率计各1台（自动匹配可选），带定时器1台。
　　　　2．真空系统：8升/秒机械泵1台。带真空计。
　　　　3．载片台尺寸：Ф220mm ，一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
　　　　4．气路系统：2路进气；2个质量流量计，2路显示。
　　　　5．手动控制(可以选择配置工艺过程自动控制)。
 

产品名称： 手持式激光尘埃粒子计数器 产品型号： HPC600（A)

 手持式激光尘埃粒子计数器型号： HPC600（A)

HPC600（A)手持式激光尘埃粒子计数器能实时准确地测量所在环境的微粒数量和分布,各种测量参数设定,如自动实时显示、粒径选择、定时、和自动重复测量平均、时间和日期设定、数据存储和打印、计数限报警等都功能均由内置微机控制和实现,并可监测激光粒子传感器的工作状态。 
 HPC600（A)手持式粒子计数器按照准ISO14644-1设计和中英文双语带背光显示,新颖的FPGA技术保证六个用户任意设定待测粒径通道同时进行实时检测的可靠性和准确性，多达1000组的采样数据可存储在内置的闪存内，并可通过USB或RJ45接口实现高速数据下载和远程遥测。该仪器以其测试精度高,性能稳定,多功能性强而过了同类产品的所有性能指. 它可广泛应用室内外环境检测,有效的反映当前环境的尘埃粒子个数；同时，对空气净机的净效率能够进行实时反映,因此,也非常适用于检测空气净机净效果用。 
应用领域 
净环境检测 
室内外环境检测 
过滤器效率分析测试 
检查污染源分析 
粒径分布分析 
环境洁净度等级判定依据 
主要性能指 
测试粒子粒径用户可根据需要，在0.3~25μ m粒子粒径之间，按0.1μm的步长任意设定六个待测粒子通道 
光 源激光二管(寿命大于100000小时) 
*性损失当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5% 
流 量0.6 升 /分钟（0.1cfm) 
计数效率50±10%@0.3μm, 100±10%@0.5μm 
检定准JIS-B-9921(1997), ASTM-F649-01, ASTM-F328-98 (NIST可溯源) 
采样时间用户自设定 (1秒～59分59秒) 
采样用户自设定 (1秒～59分59秒) 
采样频率1到99次或连续 
报警级别1～ 100,000级(FED209E 准)或2 ～ 9级 (ISO14464-1准) 
测试方式单一/重复/连续/定时/平均 
数据内存容量1000组(次)或6000个测量数据 
错误指示过大计数，激光功率衰减，过校准流量（>±5%)，电池电量不足 
接 口USB、RJ45、RS232 
大通讯速率12MBPS 
电 源可充电Li-ion电池（7.4V/2800mAH)或100～240V AC适配器 
电池工作时间连续测试时间大于6小时 
外形尺寸93（W)×48（D)×185（H)mm(手持式主机)  
F 152 × 97 (H) mm (底座) 
重 量主机：约600 克（含电池) 
底座：约400克 

环境条件工作环境5～45℃, ＜ 90%RH 
储藏环境：-20～50℃, ＜ 90%RH 
准附件AC适配器，等动力采样头, 便携式保护箱,USB数据线，打印、下载、充电一体式多功能机座、应用软件安装和使用手册光盘, 
选配件外置温湿度传感器